Bei der Materialbearbeitung mit Elektronenstrahlen wird die Energie eines stark beschleunigten und fokussierten Elektronenstrahls beim Auftreffen auf die Werkstückoberfläche im Brennpunkt in Wärme umgewandelt. Die Eindringtiefe der Elektronen in die Werkstückschicht ist eine Funktion der Beschleunigungsspannung und der Dichte des zu bearbeitenden Materials. Die thermische Energie wird genutzt, um die Oberflächeneigenschaften des Materials zu verändern. Es sind sehr hohe Leistungsdichten möglich, die für verschiedene Technologien genutzt werden können. Die technologischen Besonderheiten der Elektronenstrahlbearbeitung werden am Beispiel des Härtens, Schmelzens, Schweißens, Bohrens und einiger Sonderverfahren diskutiert. Anhand der Behandlung von Werkzeugoberflächen (Spritzgießen, Umformen) mit Elektronenstrahlen wird gezeigt, wie der Prozess durch eine geeignete Kombination von Bearbeitungsfrequenz und Energiedichte gesteuert werden kann, um automatisch optisch glänzende Werkstückoberflächen zu erzeugen.