In diesem Kapitel werden im ersten Teil die Ergebnisse aus dem HiPIMS- und DC-Magnetronsputterplasma beschrieben und diskutiert. Zunächst erfolgt dafür die Untersuchung des integralen Energieeintrags, gemessen mit einer passiven Thermosonde, sowie der Abscheiderate. Außerdem wurde die Ionenenergieverteilung mit einem Gegenfeldanalysator und energieselektiver Massenspektrometrie, in HiPIMS auch zeitaufgelöst, gemessen. Im zweiten Teil des Kapitels werden die Ergebnisse aus dem Superpositionsprozess von HiPIMS mit HF dargestellt und diskutiert.