In diesem Kapitel werden die Grundlagen, die zum Verständnis der Magnetronsputterplasmen erforderlich sind, eingeführt. Zunächst geht es um die Grundlagen der Plasmaphysik. Abschnitt 2.2 hat die Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung zum Thema. Die Erzeugung und Eigenschaften der in dieser Arbeit verwendeten Plasmen werden in Abschnitt 2.3 erläutert.