Die Charakterisierung der hergestellten Bauelemente und Teststrukturen lässt sich in drei Teilbereiche einordnen. Zunächst werden diverse Methoden zur Analyse spezifischer Technologieparameter angewendet, um den tatsächlich realisierten Bauelemententwurf zu ermitteln. Anschließend werden die quasi-statischen Bauelementeigenschaften mithilfe elektrischer Messungen bestimmt und in den Kontext der Modellierung und der Herstellung gebracht.