Elektrostatische Aktoren
摘要
Bewegungen, Deformationen und Kräfte können in kleinsten Dimensionen durch elektrostatische Wandler realisiert werden. Diese Wandlerprinzipien nutzen elektrische Energien eines elektrostatischen Feldes zwischen zwei leitenden Komponenten (Elektroden), um eine Verschiebung mindestens einer beweglichen Komponente, oftmals eine der genutzten Elektroden, zu bewirken. Der elektrostatische Effekt wird hauptsächlich in Aktoren der Mikrosystemtechnik, sogenannten Micro-Electro-Mechanical-Systems (kurz: MEMS) genutzt.