Aktive monolithische Sensoren
摘要
Wandler, die ein elektrisches Signal in Abhängigkeit einer externen nicht-elektrischen Stimulation generieren, werden in die Gruppe der aktiven Sensoren eingeordnet. Darunter kann beispielsweise ein induktiv arbeitender Wandler verstanden werden, der aus einer Bewegung eines Permanentmagneten eine elektrische Spannung induziert. In diesem Kapitel wird der Fokus auf aktive monolithische Wandler bzw. Sensoren gelegt, die nicht in einzelne bewegliche Komponenten geteilt werden.