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Study of Scanning Parameters and Variable Focal Adjustment in Multi-Layer Laser Ablation of Silicon Nitride

  • 期刊论文

  • 出版模式：

    开放获取

  • 发表日期：

    2026年4月7日

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  • Esmaeil Ghadiri Zahrani,
  • Amirmohmmad Fakharzadeh Jahromi,
  • Bahman Azarhoushang
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